石英坩埚是半导体单晶硅棒拉制过程中的关键耗材,用于盛装熔融硅液。其高纯度和耐高温特性确保了单晶硅棒的高质量生产,满足半导体晶圆制造对硅片纯度、密度及杂质的严苛要求。在石英坩埚的生产过程中,酸洗环节是至关重要的一步。石英坩埚酸洗车间承担着去除坩埚表面不溶性杂质的重任,其采用的工艺有着严格的标准和要求。
在石英坩埚酸洗车间,志盛威华集团自主研发生产的ZS-1033耐氢氟酸防腐涂料,在酸洗车间地面及排污沟槽的应用,是保障生产环境稳定、延长了地面及排放设施寿命的关键举措,为车间的高效、安全生产提供了有力支持!

车间内,酸洗使用浓度为 6%-8% 的氢氟酸,这一浓度范围能有效去除杂质,又能保证一定的安全性。当坩埚进入酸洗单元后,隔板会自动关闭,清洗方式为自动喷淋。喷淋流速设定为 208L/min,单只坩埚喷淋清洗时间为 100s,在这精确的参数控制下,氢氟酸能够充分且均匀地冲洗坩埚内外表面,确保杂质被彻底清除。
然而,这种酸洗工艺也带来了一个棘手的问题 —— 酸液酸性气体对地面的腐蚀严重,普通地坪漆不耐受腐蚀且不易修复。氢氟酸具有强腐蚀性,其挥发产生的酸性气体长期作用于地面,会使地面材料的结构遭到破坏,降低地面的使用寿命,还可能带来安全隐患。如果地面因腐蚀而出现坑洼、破损,不仅影响车间的正常生产运作,还可能导致人员滑倒等事故。
为了解决这一问题,北京志盛威华ZS-1033耐氢氟酸防腐涂料进入该市场应用后,以其稳定的物理强韧性和化学耐腐蚀性得到了广泛认可。这种涂料专门针对氢氟酸的腐蚀特性研发,能够在地面表面形成一层致密的防护膜。

ZS-1033陶瓷涂层具备卓越的耐化学腐蚀性,能有效抵御氢氟酸酸性气体的侵蚀,大大延长地面的使用寿命。而且,该涂料施工简便,可根据车间地面的实际情况选择合适的施工方法,如喷涂、刷涂等,不影响车间的正常生产进度。同时,其具有良好的耐磨性,在车间频繁的人员走动和设备移动过程中,依然能保持防护性能的稳定。
