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石英坩埚酸洗车间防氢氟酸腐蚀方法
2024-05-11

石英坩埚实际上就是一种容器,是由高纯石英砂通过模具定型,使用电弧法高温制作而成。主要用于太阳能与半导体拉制单晶硅棒。石英坩埚可以在1450℃以下使用,具有洁净、同质、耐高温等性能。分为透明和半透明两种。

石英坩埚的生产流程:

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石英坩埚酸洗用浓度为6%-8%的氢氟酸冲洗坩埚内外表面,当坩埚进入酸洗单元以后,隔板自动关闭,清洗方式为自动喷淋,喷淋流速为208L/min,单只坩埚喷淋清洗时间为100s。去除坩埚表面的不溶杂质。酸洗后,要用清水进行高压冲洗,去除表面的酸液。清洗方式为封闭式自动喷淋,高压喷淋流速为120L/min,单只喷淋时间为30s

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氢氟酸是一种非常强的腐蚀性的酸,能够和大部分的原子和分子反应,包括金属和非金属。氢氟酸可以与玻璃、陶瓷发生物质反应,具有很强的腐蚀性和刺激性。

1、氢氟酸和金属反应

氢氟酸可以和大部分金属反应,生成相应的金属氟化物和氢气。比如放在氢氟酸中的铁片,会产生铁氟化物和氢气。金属的腐蚀程度主要取决于其活性程度和表面积大小

2、氢氟酸和非金属反应

氢氟酸能够与大量的非金属物质发生反应,如氧化物、碳酸盐、硅酸盐、硫酸盐等,它可以与含有氧元素的化合物发生反应,并促使其发生进一步的反应。

综上所述,石英坩埚酸洗车间混凝土地面和钢结构腐蚀非常严重。需要我们采用专用的防氢氟酸防腐涂料进行防腐。采用志盛威华ZS-1033耐氢氟酸防腐涂料,防腐效果好,业内使用单位纷纷推荐。涂料中成膜溶液与无机填料混合固化后, 聚改性酚氟树脂较稳定,耐溶胀性较好。重晶石、鳞片石墨等材料在涂层中增加防腐路径,耐氢氟酸腐蚀抗渗透性好,涂层硬度高耐磨。使用涂层可以延长防腐时间3倍以上,局部破坏,可修复性强,综合经济效益好。

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